Ngay từ năm 1738, Daniel Bernoulli người Thụy Sĩ đã sử dụng phương pháp chênh lệch áp suất để đo lưu lượng nước dựa trên phương trình Bernoulli đầu tiên. Sau đó, GB Venturi người Ý đã nghiên cứu việc sử dụng ống Venturi để đo lưu lượng và công bố kết quả nghiên cứu của mình vào năm 1791.
Năm 1886, công ty Herschel của Mỹ đã sử dụng ống Venturi để chế tạo một thiết bị đo thực tế dùng để đo lưu lượng nước.
Từ đầu đến giữa thế kỷ-20, các nguyên tắc đo lường ban đầu dần hoàn thiện và con người không còn giới hạn suy nghĩ của mình vào các phương pháp đo lường ban đầu nữa mà bắt đầu những khám phá mới.
Vào những năm 1930, có một phương pháp sử dụng sóng âm để đo lưu lượng chất lỏng và khí, nhưng không có nhiều tiến triển cho đến Thế chiến thứ hai. Mãi đến năm 1955, lưu lượng kế Maxon sử dụng phương pháp chu kỳ âm thanh mới được giới thiệu để đo lưu lượng nhiên liệu hàng không.
Sau những năm 1960, các dụng cụ đo lường bắt đầu phát triển theo hướng chính xác và thu nhỏ.
Với sự phát triển nhanh chóng của công nghệ mạch tích hợp, lưu lượng kế siêu âm (sóng) với công nghệ vòng khóa pha cũng đã được sử dụng rộng rãi. Việc sử dụng rộng rãi máy vi tính đã cải thiện hơn nữa khả năng đo lưu lượng. Ví dụ, lưu lượng kế Doppler laser có thể xử lý các tín hiệu phức tạp hơn sau khi sử dụng máy vi tính.